一种下降法晶体生长装置

发明专利有效专利

申请号：
CN202110093277.3
IPC分类号：C30B11/00
申请日期：
2021-01-25
申请人：
延安星特亮科创有限公司

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专利名称	一种下降法晶体生长装置
申请号	CN202110093277.3	申请日期	2021-01-25
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-05-14	公开/公告号	CN112795978A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B11/00 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B11/00 正常凝固法或温度梯度凝固法的单晶生长，例如晶体生长坩埚下降法Bridgman-Stockbarger法（C30B 13/00，C30B 15/00，C30B 17/00，C30B 19/00优先；保护流体下的入C30B 27/00）〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;1;1;/;0;0查看分类表>
申请人	延安星特亮科创有限公司	申请人地址	陕西省延安市宝塔区新材料高新技术产业园区6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	延安星特亮科创有限公司	当前权利人	延安星特亮科创有限公司
发明人	李留臣;周正星;徐建明
代理机构	苏州创元专利商标事务所有限公司	代理人	刘鑫

摘要

本发明公开了一种下降法晶体生长装置，包括机架、可升降的设于机架上的坩埚轴、固定的套设于坩埚轴上的载板、设于坩埚轴顶部的且位于载板上方的坩埚、设于载板上的且用于罩设坩埚的真空罩体、设于机架上的且间隔排列的环设于真空罩体外侧的加热器、设于机架上的且用于驱动坩埚轴升降的驱动机构；坩埚轴包括气路内腔、开设于坩埚轴上的且位于坩埚和载板之间的进气口、开设于坩埚轴上的且位于载板下方的抽气口；进气口和抽气口均与气路内腔连通。本发明一种下降法晶体生长装置，降低真空环境的获取难度，降低生产成本，真空稳定性较高。

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