一种用于等离子体正时点火的微型离子源

实用新型专利有效专利

申请号：
CN202020133499.4
IPC分类号：H05H1/52
申请日期：
2020-01-21
申请人：
散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所

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专利名称	一种用于等离子体正时点火的微型离子源
申请号	CN202020133499.4	申请日期	2020-01-21
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/52 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/52 应用导火线或火花隙的（H05H 1/26优先；一般火花隙入H01T）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;5;2查看分类表>
申请人	散裂中子源科学中心;中国科学院高能物理研究所	申请人地址	广东省东莞市松山湖高新技术产业开发区总部二路2号光大数字家庭（推广名：光大we谷）一区1栋1号楼1316号房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	散裂中子源科学中心,中国科学院高能物理研究所	当前权利人	散裂中子源科学中心,中国科学院高能物理研究所
发明人	陈卫东;朱仁丽;李辉;薛康佳;吕永佳
代理机构	广州市华学知识产权代理有限公司	代理人	李盛洪

摘要

本实用新型公开了一种用于等离子体正时点火的微型离子源，包括底座，嵌套在底座上的阳极，装设在阳极一侧的阴极，装设在阳极与阴极之间的迷宫隔离陶瓷层，套设在阴极外壁与底座密封连接的绝缘外罩，所述绝缘外罩与阴极密封连接，所述阴极的内部为真空室，所述阴极的一侧设置有与真空室相连通的注气孔，所述迷宫隔离陶瓷层上设置有第一等离子体引出孔，所述阳极上设置有第二等离子体引出孔，所述第二等离子体引出孔的尺寸略小于第一等离子体引出孔，所述底座上设置有中孔，其具有溅射产额小、点火迅速、点火定时精确稳定、结构简单紧凑、具有防水功能、使用寿命长的优点。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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