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半导体结构的制作方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510916709.0
  • IPC分类号:H01L21/8238
  • 申请日期:
    2015-12-10
  • 申请人:
    中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
著录项信息
专利名称半导体结构的制作方法
申请号CN201510916709.0申请日期2015-12-10
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-06-20公开/公告号CN106876338A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8238
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;8查看分类表>
申请人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司申请人地址
上海市浦东新区张江路18号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司当前权利人中芯国际集成电路制造(上海)有限公司,中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
发明人韩秋华;潘亚武;吴端毅
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人吴圳添;吴敏
摘要
一种半导体结构的制作方法,包括:提供绝缘体上硅衬底,所述绝缘体上硅衬底包括PMOS区域和NMOS区域;在所述PMOS区域上形成第一鳍部,所述第一鳍部顶部被第一硬掩膜块覆盖,侧面暴露;在所述NMOS区域上形成第二鳍部,所述第二鳍部顶部和侧面都暴露;采用退火工艺对所述第一鳍部和所述第二鳍部进行退火处理。所述半导体结构的制作方法提高PMOS鳍式场效应管和NMOS鳍式场效应管的电流匹配性能。

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