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铜靶材的加工方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200910165364.4
  • IPC分类号:C22F1/08;C23C14/34;C23C14/14
  • 申请日期:
    2009-08-07
  • 申请人:
    宁波江丰电子材料有限公司
著录项信息
专利名称铜靶材的加工方法
申请号CN200910165364.4申请日期2009-08-07
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2010-01-06公开/公告号CN101619429
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C22F1/08IPC分类号C;2;2;F;1;/;0;8;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4;;;C;2;3;C;1;4;/;1;4查看分类表>
申请人宁波江丰电子材料有限公司申请人地址
浙江省余姚市阳明科技工业园区江丰路1号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人宁波江丰电子材料股份有限公司当前权利人宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人姚力军;潘杰;王学泽;鲍伟江;刘庆
代理机构北京集佳知识产权代理有限公司代理人吴靖靓;李丽
摘要
一种铜靶材的加工方法,包括:通过三次精度渐增的机械加工对铜工件进行处理,其中,在三次机械加工过程中用全周夹具固定铜工件,并且至少在第一次机械加工和第二次机械加工之间对铜工件进行应力释放。通过所述铜靶材的加工方法获得的铜靶材具有较好的表面纹路一致性,以及较低的表面粗糙度。

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