一种两维物理量并行检测的MEMS传感器

发明专利有效专利

申请号：
CN201711220492.5
IPC分类号：G01B11/16;G01B15/06
申请日期：
2017-11-29
申请人：
全球能源互联网研究院有限公司;国网江苏省电力有限公司;国家电网公司

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著录项信息

专利名称	一种两维物理量并行检测的MEMS传感器
申请号	CN201711220492.5	申请日期	2017-11-29
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2018-06-29	公开/公告号	CN108225203A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01B11/16 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01B 长度、厚度或类似线性尺寸的计量；角度的计量；面积的计量；不规则的表面或轮廓的计量 G01B11/00 以采用光学方法为特征的计量设备（G01B 9/00组中包括的各式仪器本身入G01B 9/00）〔2〕 G01B11/16 用于计量固体的变形，例如光学应变仪	IPC分类号	G;0;1;B;1;1;/;1;6;;;G;0;1;B;1;5;/;0;6查看分类表>
申请人	全球能源互联网研究院有限公司;国网江苏省电力有限公司;国家电网公司	申请人地址	北京市昌平区未来科技城滨河大道18号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	全球能源互联网研究院有限公司,国网江苏省电力有限公司,国家电网公司	当前权利人	全球能源互联网研究院有限公司,国网江苏省电力有限公司,国家电网公司
发明人	郑天祥;陈硕;雷林绪;邓占锋;李璐;刘占元;牛晓晨
代理机构	北京安博达知识产权代理有限公司	代理人	徐国文

摘要

本发明涉及一种两维物理量并行检测的MEMS传感器，所述两维物理量为微音和温度，所述MEMS传感器包括：微音传感器和温度传感器；两传感器并联；所述微音传感器为悬臂梁数目大于一的微音传感器。本发明提供的MEMS传感器，采用多梁结构悬臂梁更有利于光声光谱长期稳定的工作，可利用不同灵敏度悬臂梁的强度和硬度不同的特性，当灵敏度较高的悬臂梁因声压太大发生断裂时，依然可以选择其他悬臂梁作为微音器继续检测，实现传感器灵敏度和可靠性的统一；融合了温度传感器有利于消除温度对悬臂梁微音器检测的误差，提高了光声光谱检测的精度。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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