可用于ITO靶材烧结的气氛钟罩炉

发明专利有效专利

申请号：
CN201410298798.2
IPC分类号：--
申请日期：
2014-06-27
申请人：
长沙矿冶研究院有限责任公司

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	可用于ITO靶材烧结的气氛钟罩炉
申请号	CN201410298798.2	申请日期	2014-06-27
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日	2015-01-21	公开/公告号	CN104296529A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	暂无	IPC分类号	暂无查看分类表>
申请人	长沙矿冶研究院有限责任公司	申请人地址	湖南省长沙市高新开发区麓天路18号湖南长远锂科有限公司厂房203-205房变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	湖南金炉科技股份有限公司	当前权利人	湖南金炉科技股份有限公司
发明人	欧阳建;张勋郎;卓晓军;陈立三;赵为上;杨克辉;彭伟;高平立;侯季淹;易焕能;欧旭明
代理机构	上海金盛协力知识产权代理有限公司	代理人	段迎春

摘要

本发明公开了一种可用于ITO靶材烧结的气氛钟罩炉，包括炉体、炉架、冷却系统、气氛控制调节系统和温度控制系统，炉体为一安装于炉架上的中空结构，内部的腔体设置为炉膛，炉体的底部设有作为活动炉门的窑车，且窑车作为活动炉门关闭时能与炉体形成密封连接，炉膛的顶部及四周的内壁上设置有高温耐火材料层，炉体的顶部安装有加热元件并向下延伸至炉膛内，冷却系统的冷却风管道穿过炉体底部的侧壁并通向炉膛内，气氛控制调节系统的通气管路穿过炉体底部的侧壁并通向炉膛内，温度控制系统包括安装于炉体上的多个测温热电偶。本发明具有结构简单、成本低、维护方便、烧结效果好等优点，且特别适用于ITO靶材的烧结。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供