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金属电迁移测试结构及使用该结构的金属电迁移测试方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201810228231.6
IPC分类号：H01L21/66
申请日期：
2018-03-20
申请人：
长江存储科技有限责任公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	金属电迁移测试结构及使用该结构的金属电迁移测试方法
申请号	CN201810228231.6	申请日期	2018-03-20
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2018-08-24	公开/公告号	CN108447797A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/66 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/66 在制造或处理过程中的测试或测量〔2〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人	长江存储科技有限责任公司	申请人地址	湖北省武汉市洪山区东湖开发区关东科技工业园华光大道18号7018室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	长江存储科技有限责任公司	当前权利人	长江存储科技有限责任公司
发明人	王志强;韩坤
代理机构	上海专利商标事务所有限公司	代理人	邓晔

摘要

本发明涉及金属电迁移测试结构及使用该结构的金属电迁移测试方法，该金属电迁移测试结构包括：位于相同层的至少两条待测目标金属线；以及位于待测目标金属线的相邻层的至少一条连接用金属线。利用连接用金属线经由通孔使待测目标金属线串联连接，并对连接用金属线的长度进行设置，以使得在进行金属电迁移测试时，由待测目标金属线和连接用金属线串联而成的串联电路的电阻值发生跳变。

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