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一种半导体器件的多功能腐蚀装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201721816880.5
  • IPC分类号:H01L21/67
  • 申请日期:
    2017-12-22
  • 申请人:
    中国振华集团永光电子有限公司(国营第八三七厂)
著录项信息
专利名称一种半导体器件的多功能腐蚀装置
申请号CN201721816880.5申请日期2017-12-22
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/67IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人中国振华集团永光电子有限公司(国营第八三七厂)申请人地址
贵州省贵阳市乌当区新添大道北段270号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人中国振华集团永光电子有限公司(国营第八三七厂)当前权利人中国振华集团永光电子有限公司(国营第八三七厂)
发明人袁鹏;古进;郭荣;简青青;寿强亮
代理机构贵阳睿腾知识产权代理有限公司代理人谷庆红
摘要
本实用新型提供了一种半导体器件的多功能腐蚀装置,包括提手、篮架、酸洗盘、支架;所述支架安装在支架内,所述支架安装在篮架内,所述提手安装在篮架的上端,所述酸洗盘在支架内上下水平布置有若干排。本实用新型将酸、碱腐蚀工艺在一个腐蚀盘内进行,大大简化了酸碱腐蚀过程中产品的流转,其设计满足了酸腐蚀工艺中喷淋清洗工艺的需求,同时满足了碱腐蚀过程中提挂式的腐蚀清洗要求,该腐蚀盘同时满足两种生产工艺。同时腐蚀盘的设计与后续涂覆的设备兼容,大大简化了后续产品的流转方式,该发明提高了生产效率,具有较高的市场推广价值。

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