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多柱电子束设备和方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201280036744.8
IPC分类号：H01J37/06;H01J37/10
申请日期：
2012-06-26
申请人：
科磊股份有限公司

基础信息

权利要求

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	多柱电子束设备和方法
申请号	CN201280036744.8	申请日期	2012-06-26
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-04-02	公开/公告号	CN103703536A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/06 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/04 电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置 H01J37/06 电子源；电子枪	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;0;6;;;H;0;1;J;3;7;/;1;0查看分类表>
申请人	科磊股份有限公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	科磊股份有限公司	当前权利人	科磊股份有限公司
发明人	哈什亚·沙德曼;罗伯特·G·海恩斯;克里斯多夫·M·西尔斯;迈赫兰·纳赛尔-古德西
代理机构	北京律盟知识产权代理有限责任公司	代理人	张世俊

摘要

所揭示的一个实施例涉及一种设备，其包含电磁体，所述电磁体经布置以在区中提供大规模磁场。所述设备进一步包含使用穿过磁性材料的孔阵列在所述区中形成的多个电子束柱的阵列。另一实施例涉及一种产生电子束阵列的方法。使用至少两个磁极在区中产生大规模磁场。使用柱阵列产生电子束阵列，所述柱阵列是使用穿过定位于所述区中的磁性材料的孔形成的。还揭示其它实施例、方面和特征。

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