一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头

发明专利无效专利

申请号：
CN201510001926.7
IPC分类号：G02B13/22;G03F7/20
申请日期：
2015-01-04
申请人：
中国科学院光电技术研究所

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头
申请号	CN201510001926.7	申请日期	2015-01-04
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-04-22	公开/公告号	CN104536120A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G02B13/22 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G02 光学 G02B 光学元件、系统或仪器（G02F优先；专用于照明装置或系统的光学元件入F21V 1/00至F21V 13/00；测量仪器见G01类的有关小类，例如，光学测距仪入G01C；光学元件、系统或仪器的测试入G01M 11/00；眼镜入G02C；摄影、放映或观看用的装置或设备入G03B；声透镜入G10K 11/30；电子和离子“光学”入H01J；X射线“光学”入H01J，H05G 1/00；结构上与放电管相组合的光学元件入H01J 5/16，H01J 29/89，H01J 37/22；微波“光学”入H01Q；光学元件与电视接收机的组合装置入H04N 5/72；彩色电视系统中的光学系统或装置入H04N 9/00；专门适用于透明或反射区的加热装置入H05B 3/84）〔1，7〕 G02B13/00 为下述用途专门设计的光学物镜（有可变放大率的入G02B 15/00） G02B13/22 远心物镜或透镜系统	IPC分类号	G;0;2;B;1;3;/;2;2;;;G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人	中国科学院光电技术研究所	申请人地址	四川省成都市双流350信箱变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院光电技术研究所	当前权利人	中国科学院光电技术研究所
发明人	邓钦元;周毅;司新春;刘俊伯;胡松;杨勇;程依光
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种用于DMD无掩模光刻机的投影物镜镜头，从入射方向开始依次设置有8枚镜片，分别为L1～L8，其中物面到光阑之间有4块镜片，镜片L3与L4胶合，光阑到像面之间有4块镜片，镜片L5与L6胶合，光栏对称构成一个双远心光路。其光路结构为双远心光路，放大倍率为β＝-0.37x，即缩小了2.73倍。物方数值孔径为NA＝0.0225，物方视场为Φ25mm，分辨力为σ＝5um。该镜头设计的工作波段为365±10nm，所使用的玻璃材料来自成都光明光电有限公司。本发明使用比较少的镜片，就可以达到比较理想的分辨率，该镜头体积小，拆装简单，使用十分方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有被任何外部专利所引用！

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供