原位差分谱仪

发明专利有效专利

申请号：
CN200980116526.3
IPC分类号：G01J3/00;G01J3/42
申请日期：
2009-05-07
申请人：
恪纳腾公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	原位差分谱仪
申请号	CN200980116526.3	申请日期	2009-05-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-04-13	公开/公告号	CN102016525A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01J3/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01J 红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法〔2〕 G01J3/00 光谱测定法；分光光度测定法；单色器；测定颜色〔4〕	IPC分类号	G;0;1;J;3;/;0;0;;;G;0;1;J;3;/;4;2查看分类表>
申请人	恪纳腾公司	申请人地址	美国加利福尼亚州变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	恪纳腾公司	当前权利人	恪纳腾公司
发明人	M·维茨-依拉凡尼;M·那瑟尔戈德斯;G·赵
代理机构	北京嘉和天工知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	严慎

摘要

具有电子束生成器的谱仪，所述电子束生成器用于生成被导向试样的电子束。电子束定位器将所述电子束引导至所述试样上的适当位置上，并且从而产生来自所述试样的二次发射流，其中所述二次发射流包括电子和X射线中的至少一种。二次发射流定位器将所述二次发射流定位到检测器阵列上，所述检测器阵列接收所述二次发射流并且检测所述二次发射流的量和被接收到的位置两者。调制器调制被引导至所述试样上的所述电子束，并且从而在所述试样上的第一位置和第二位置之间扫描所述电子束。提取器与所述调制器和所述检测器阵列两者信号通信。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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