钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201410140923.7
IPC分类号：C23C14/35;C23C14/16
申请日期：
2014-04-10
申请人：
太原理工大学

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专利名称	钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法
申请号	CN201410140923.7	申请日期	2014-04-10
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-02	公开/公告号	CN103898465A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;1;6查看分类表>
申请人	太原理工大学	申请人地址	山西省太原市万柏林区迎泽西大街79号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	太原理工大学	当前权利人	太原理工大学
发明人	张树志;张长江;程伟丽;牛晓锋;王红霞;陈玉勇
代理机构	太原市科瑞达专利代理有限公司	代理人	李富元

摘要

本发明涉及材料表面改性领域，具体是一种钛合金表面磁控溅射制备钛铝金属间化合物涂层的方法。取经过探伤和缺陷处理的钛铝金属间化合物作为靶材，对靶材表面进行打磨，除去表面氧化膜，采用包套锻造对其进行变形锻造；用丙酮刷洗钛合金试样表面，清除表面油污及其他污染物，再用超声波清洗5min-7min，然后用无水乙醇清洗后烘干；钛合金试样放置于磁控溅射设备的真空室样品台上，靶材安装在磁控溅射靶上，关闭真空室，对试样进行辉光清洗，清洗完成后在100℃-200℃、0.2KV-0.5KV电压、0.1A-0.5A电流下进行磁控溅射，溅射时间为40min-90min。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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