电子束装置

发明专利有效专利

申请号：
CN201980029412.9
IPC分类号：H01J37/20
申请日期：
2019-04-23
申请人：
ASML荷兰有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	电子束装置
申请号	CN201980029412.9	申请日期	2019-04-23
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-12-08	公开/公告号	CN112055885A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01J37/20 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01J 放电管或放电灯（火花隙入H01T；消耗电极的弧光灯入H05B；粒子加速器入H05H） H01J37/00 有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的（H01J 33/00、H01J 40/00、H01J 41/00、H01J 47/00、H01J 49/00优先）〔2，5〕 H01J37/02 零部件 H01J37/20 物体或材料的支承或定位装置；与支架相联的光阑或透镜的调整装置	IPC分类号	H;0;1;J;3;7;/;2;0查看分类表>
申请人	ASML荷兰有限公司	申请人地址	荷兰维德霍温变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	ASML荷兰有限公司	当前权利人	ASML荷兰有限公司
发明人	P·P·亨佩尼乌斯;S·A·J·霍尔;M·F·J·克里梅斯;H·M·J·范德格罗伊斯;N·J·M·博世;M·K·M·巴格根
代理机构	北京市金杜律师事务所	代理人	暂无

摘要

公开了一种电子束装置，该工具包括被配置为将电子束投射到对象上的电子光学系统(500)，用于保持该对象的载物台，和被配置为相对于该电子光学系统移动该载物台(520)的定位器件(510)。该定位器件包括被配置为相对于该电子光学系统移动该载物台的短冲程平台(512)和被配置为相对于该电子光学系统移动该短冲程平台的长冲程平台(511)。该电子束装置进一步包括磁屏蔽(540)，用于屏蔽该电子光学系统免于被该定位器件生成的磁扰动所影响。该磁屏蔽可以被布置在该定位器件和该电子光学系统之间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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