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一种新式高效玻璃薄化设备

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201320296247.3
  • IPC分类号:C03C15/00
  • 申请日期:
    2013-05-28
  • 申请人:
    湖北优尼科光电技术有限公司
著录项信息
专利名称一种新式高效玻璃薄化设备
申请号CN201320296247.3申请日期2013-05-28
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C03C15/00IPC分类号C;0;3;C;1;5;/;0;0查看分类表>
申请人湖北优尼科光电技术有限公司申请人地址
湖北省孝感市云梦县城北工业园区湖北优尼科光电技术股份有限公司 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人湖北优尼科光电技术股份有限公司当前权利人湖北优尼科光电技术股份有限公司
发明人陈必盛
代理机构北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙)代理人王伟锋;刘铁生
摘要
本实用新型公开了一种新式高效玻璃薄化设备,其蚀刻箱体的内部设置蚀刻腔室、缓冲腔室以及搭肩,缓冲腔室的底部配装至少进液管,搭肩搭设上导流板和下导流板,上导流板的上导流孔的直径较下导流板的下导流孔的直径小,缓冲腔室内于下导流板的下方装设供气管道,供气管道包括集流管、进气管以及分流管,集流管和分流管分别开设透气孔,蚀刻箱体的上端部盖装蚀刻箱盖,蚀刻箱盖配装排气管。通过上述结构设计,本实用新型一方面能够有效地避免涡流对玻璃基板蚀刻质量的影响,进而能够有效地提高玻璃基板的蚀刻质量;另一方面能够使得空气均匀地分布于蚀刻腔室内,即能够加快玻璃基板蚀刻薄化速度并提高蚀刻效率。

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