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混合气体注射器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201080042558.6
  • IPC分类号:H01L21/22;H01L21/205
  • 申请日期:
    2010-09-24
  • 申请人:
    磁性流体技术(美国)公司
著录项信息
专利名称混合气体注射器
申请号CN201080042558.6申请日期2010-09-24
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2012-09-05公开/公告号CN102656666A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/22IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;2;2;;;H;0;1;L;2;1;/;2;0;5查看分类表>
申请人磁性流体技术(美国)公司申请人地址
美国新罕布什尔州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人磁性流体技术(美国)公司当前权利人磁性流体技术(美国)公司
发明人F·欧莫尔;K·威廉姆斯;N·乐;V·布朗
代理机构北京金阙华进专利事务所(普通合伙)代理人陈建春
摘要
本发明公开了一种气体注射器,用于将生产用气体注入井式炉中支撑多个晶片的塔与管形内衬之间的空间内,包括:管形杆,其具有开口远端及沿第一轴延伸的第一孔并由第一单一材料构成,该单一材料选自由硅、石英及碳化硅组成的组;及连接器,其可分离地连接至杆部,且其由不同于第一材料的第二材料构成并且包括供应管,供应管具有沿与第一轴垂直的第二轴延伸并与第一孔流体连通的第二孔,及具有可连接到气体源管线的远端。

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