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一种光瞳补偿装置和光刻机

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910464486.7
  • IPC分类号:G03F7/20
  • 申请日期:
    2019-05-30
  • 申请人:
    上海微电子装备(集团)股份有限公司
著录项信息
专利名称一种光瞳补偿装置和光刻机
申请号CN201910464486.7申请日期2019-05-30
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2020-12-01公开/公告号CN112015053A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G03F7/20IPC分类号G;0;3;F;7;/;2;0查看分类表>
申请人上海微电子装备(集团)股份有限公司申请人地址
上海市浦东新区张东路1525号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司当前权利人上海微电子装备(集团)股份有限公司
发明人赵峰
代理机构上海思捷知识产权代理有限公司代理人王宏婧
摘要
本发明提供一种光瞳补偿装置和光刻机,所述光瞳补偿装置包括支架主体、驱动装置和补偿机构,所述驱动装置设置在所述支架主体上,所述驱动装置用于驱动所述补偿机构在光瞳面上移动,所述补偿机构用于补偿光瞳均匀度,所述补偿机构包括补偿主体,以及设置在所述补偿主体上的补偿件,所述补偿主体与所述支架主体滑动连接,所述补偿件用于补偿光瞳均匀度。本发明中的光瞳补偿装置可在光瞳面上对光瞳均匀度进行补偿,并且补偿机构对光瞳均匀度的补偿程度可调,从而可针对不同的光瞳均匀度补偿要求调节补偿机构的位置,使光瞳补偿装置的耦合效率高。此外,所述光瞳补偿装置结构简单,可靠性高。

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