一种用于瞬态温度测量的薄膜传感器及其制作方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201410158443.3
IPC分类号：G01K7/02;C23C14/35;C23C14/06;C04B35/622
申请日期：
2014-04-18
申请人：
大连交通大学

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著录项信息

专利名称	一种用于瞬态温度测量的薄膜传感器及其制作方法
申请号	CN201410158443.3	申请日期	2014-04-18
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2014-07-02	公开/公告号	CN103900727A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01K7/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01K 温度测量；热量测量；未列入其他类目的热敏元件（辐射高温测定法入G01J 5/00） G01K7/00 以利用直接对热敏感的电或磁性元件为基础的温度测量（给出除温度瞬时值之外其他结果的入G01K 3/00） G01K7/02 利用热电元件，例如热电偶	IPC分类号	G;0;1;K;7;/;0;2;;;C;2;3;C;1;4;/;3;5;;;C;2;3;C;1;4;/;0;6;;;C;0;4;B;3;5;/;6;2;2查看分类表>
申请人	大连交通大学	申请人地址	辽宁省大连市沙河口区黄河路794号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连交通大学	当前权利人	大连交通大学
发明人	崔云先;赵家慧;郭立明;安阳;祁洋;宫刻;张启祥
代理机构	大连东方专利代理有限责任公司	代理人	杨威;李洪福

摘要

本发明公开了一种用于瞬态温度测量的薄膜传感器及其制作方法，传感器包括热电极、不锈钢套筒及绝缘层，所述热电极包括热电极一及热电极二，热电极一包括导线部分及镀覆在绝缘层任一端面上的薄膜结构部分，热电极二为导线结构，热电极一的薄膜结构部分与热电极二接触形成热接点——即测温端；热电极一的导线部分及热电极二的长度均长于不锈钢套筒的长度，且自不锈钢套筒伸出，上述热电极伸出不锈钢套筒的部分直接作为各个热电极对应的补偿导线。本发明具有携带方便、响应时间短、测量精度高等优点；采用高温烧结纳米陶瓷粉制备而成的绝缘层具有结合性好，强度高等优点；且热电极导线和补偿导线一体化设计，避免了胶水粘结补偿导线风干后，硬、脆，易脱落的弊端。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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