首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据，仅供参考，实际以国家知识产权局展示为准

低功率气态等离子体源

发明专利有效专利

申请号：
CN200980141425.1
IPC分类号：H05H1/46;H01J27/16;H01J61/067
申请日期：
2009-10-16
申请人：
国家科学研究中心

基础信息

权利要求

说明书

PDF全文

法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	低功率气态等离子体源
申请号	CN200980141425.1	申请日期	2009-10-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2011-09-14	公开/公告号	CN102187743A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H05H1/46 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H05 其他类目不包含的电技术 H05H 等离子体技术（离子束管入H01J 27/00；磁流体发电机入H02K 44/08；涉及生成等离子体的产生X射线的入H05G 2/00）；加速的带电粒子或中子的产生（从放射源获取中子的入G21，例如：G21B，G21C，G21G）；中性分子或原子射束的产生或加速（原子钟入G04F 5/14；受激发射器件入H01S；通过与由分子、原子或亚原子粒子的能级所确定的基准频率相比较而进行频率调整的入H03L 7/26） H05H1/00 等离子体的产生；等离子体的处理（等离子体技术在热核聚变反应器的应用入G21B 1/00） H05H1/24 等离子体的产生〔2〕 H05H1/46 应用外加电磁场的，例如高频能或微波能（H05H 1/26优先）〔3〕	IPC分类号	H;0;5;H;1;/;4;6;;;H;0;1;J;2;7;/;1;6;;;H;0;1;J;6;1;/;0;6;7查看分类表>
申请人	国家科学研究中心	申请人地址	法国巴黎变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	国家科学研究中心	当前权利人	国家科学研究中心
发明人	帕斯卡尔·索尔泰;蒂埃里·拉米
代理机构	北京同达信恒知识产权代理有限公司	代理人	黄志华

摘要

本发明涉及一种等离子源，该等离子源包括第一杆(3)，该第一杆形成四分之一波长的天线，被至少一个平行的杆环绕，该平行的杆形成耦合器(6、7、8)，且该平行的杆和所述第一杆的长度基本相同，该平行的杆设定成基准电压，所述耦合器杆是呈放射状地均匀地分布在第一杆周围，与第一杆的距离大约在四分之一波长的五分之一到四分之一波长的二十分之一之间。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供