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用于硅淀积的外延反应器

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200980140174.5
  • IPC分类号:C23C16/455;C23C16/458
  • 申请日期:
    2009-10-05
  • 申请人:
    赛昂电力有限公司
著录项信息
专利名称用于硅淀积的外延反应器
申请号CN200980140174.5申请日期2009-10-05
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日2011-09-07公开/公告号CN102177275A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/455IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;5;;;C;2;3;C;1;6;/;4;5;8查看分类表>
申请人赛昂电力有限公司申请人地址
美国加利福尼亚 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人喜瑞能源有限责任公司,喜瑞能源公司,特斯拉股份有限公司当前权利人喜瑞能源有限责任公司,喜瑞能源公司,特斯拉股份有限公司
发明人S·波佩;Y·罗泽恩宗;D·Z·陈;严晓乐;丁培军;徐征
代理机构北京市金杜律师事务所代理人王茂华;董典红
摘要
一个实施方式提供了一种用于材料淀积的设备。所述设备包含反应腔以及一对承载器。每个承载器具有正面和背面,其中正面安装衬底。垂直定位的承载器的正面相互面对,且承载器的垂直边缘相互接触。所述设备还包含多个用于注入反应气体的气体喷嘴。可通过控制气体喷嘴而使得腔内气体流向能够交替。气体入口被配置为当气体入口不向窄通道注入反应气体时,注入包含以下中的至少一个的少量吹扫气体:HCl、SiCl4以及H2。所述设备包含位于反应腔之外的多个加热单元。加热单元布置成使得它们直接向承载器的背面辐射热能。

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