一种传输机器人

实用新型专利无效专利

申请号：
CN200420113013.1
IPC分类号：B25J9/04;B25J9/10;B25J18/02;H01L21/00
申请日期：
2004-11-04
申请人：
大连理工大学

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种传输机器人
申请号	CN200420113013.1	申请日期	2004-11-04
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B25J9/04	IPC分类号	B;2;5;J;9;/;0;4;;;B;2;5;J;9;/;1;0;;;B;2;5;J;1;8;/;0;2;;;H;0;1;L;2;1;/;0;0查看分类表>
申请人	大连理工大学	申请人地址	辽宁省大连市甘井子区凌工路2号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	大连理工大学	当前权利人	大连理工大学
发明人	康仁科;郭东明;张士军;金洙吉;丛明;王永青
代理机构	大连理工大学专利中心	代理人	关慧贞

摘要

本实用新型涉及一种传输机器人，特别是涉及在多个工位之间传送诸如硅片的一种传输机器人。该传输机器人由机器人基体，升降旋转机构，臂体伸缩机构，末端执行器翻转机构，运动控制系统，真空吸附系统构成。基体内的旋转升降机构通过胀套与臂体伸缩机构相连，末端执行器翻转机构与臂体伸缩机构通过旋转阀体连接，真空吸附执行器系统与末端执行器翻转机构通过气缸轴架连接；升降旋转机构由转向电机和升降电机和滚珠丝杠花键组成。传动精密，刚度高，运行平稳，结构简单，成本低，可靠性好，采用可调装置方便同步齿形带轮的相位调整。该设备广泛应用于半导体硅片，LCD基板玻璃的传输过程中。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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