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一种用醋酸铋制备硒化铋热电薄膜的方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201510943203.9
  • IPC分类号:H01L35/34;C23C18/12
  • 申请日期:
    2015-12-17
  • 申请人:
    山东建筑大学
著录项信息
专利名称一种用醋酸铋制备硒化铋热电薄膜的方法
申请号CN201510943203.9申请日期2015-12-17
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2016-05-11公开/公告号CN105576114A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L35/34IPC分类号H;0;1;L;3;5;/;3;4;;;C;2;3;C;1;8;/;1;2查看分类表>
申请人山东建筑大学申请人地址
山东省济南市临港开发区凤鸣路 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人山东建筑大学当前权利人山东建筑大学
发明人李静;刘科高;刘慧;徐勇;石磊
代理机构暂无代理人暂无
摘要
一种用醋酸铋制备硒化铋热电薄膜的方法,属于热电薄膜材料制备技术领域,本发明通过如下步骤得到,首先清洗二氧化锡导电玻璃基片,然后将Bi(CH3COO)3、SeO2放入稀硝酸中,用电沉积法在导电玻璃片上得到前驱体薄膜,自然干燥,放入加有水合联氨的管式炉中,使前驱体薄膜样品不与水合联氨接触,在密闭管式炉内加热,最后取出样品进行干燥,得到硒化铋热电薄膜。本发明不需要高真空条件,对仪器设备要求低,生产成本低,生产效率高,易于操作。所得硒化铋热电薄膜有较好的连续性和均匀性,主相为Bi2Se3相,可以实现低成本大规模的工业化生产。

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