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应力迁移测试结构和应力迁移测试方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202110354897.8
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2021-03-31
  • 申请人:
    长江存储科技有限责任公司
著录项信息
专利名称应力迁移测试结构和应力迁移测试方法
申请号CN202110354897.8申请日期2021-03-31
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2021-07-09公开/公告号CN113097092A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人长江存储科技有限责任公司申请人地址
湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人长江存储科技有限责任公司当前权利人长江存储科技有限责任公司
发明人王志强
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司代理人梁文惠
摘要
本发明提供了一种应力迁移测试结构和应力迁移测试方法。该应力迁移测试结构中,第一应力迁移测试结构包括:第n+1层金属层,具有一个第一金属部;第n层金属层,具有多个相互隔离的第二金属部,各第二金属部通过第n层通孔与第一金属部物理连接;第n+1层参考结构,与第n+1层金属层相邻,第一金属部和第n层参考结构的两端均设置有测试信号接入点;第二应力迁移测试结构包括第m+1层金属层,具有多个相互隔离的第三金属部,第m层金属层,具有一个第四金属部,各第四金属部通过第m层通孔与第三金属部物理连接;第m层参考结构,与第m层金属层相邻,第四金属部和第m层参考结构的两端均设置有测试信号接入点,实现了准确测定SM效应。

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