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高温真空镀膜设备用电阻加热器

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201821303251.7
  • IPC分类号:C23C14/22
  • 申请日期:
    2018-08-13
  • 申请人:
    北京铂阳顶荣光伏科技有限公司
著录项信息
专利名称高温真空镀膜设备用电阻加热器
申请号CN201821303251.7申请日期2018-08-13
法律状态暂无申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/22IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;2;2查看分类表>
申请人北京铂阳顶荣光伏科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区张江路665号三层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人上海祖强能源有限公司当前权利人上海祖强能源有限公司
发明人张静
代理机构北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙)代理人赵志远
摘要
本实用新型涉及加热器技术领域,尤其是涉及一种高温真空镀膜设备用电阻加热器。其包括主加热器和多个从加热器;所述从加热器和所述主加热器设置在同一平面上。本实用新型提供的高温真空镀膜设备用电阻加热器,通过将加热器分为主加热器和从加热器,主加热器进行加热,从加热器进行热度补偿,进而实现均匀加热的目的,满足了工艺的需求,提高了产品的质量,同时也提高了加热器的寿命和可靠性,降低了维护成本,具有节能减排的效果。

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