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光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及检测方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202010678889.4
IPC分类号：G01M11/02G01B11/24G01N21/59
申请日期：
2020-07-15
申请人：
中国工程物理研究院激光聚变研究中心

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法律信息

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著录项信息

专利名称	光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及检测方法
申请号	CN202010678889.4	申请日期	2020-07-15
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2020-10-27	公开/公告号	CN111829757A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M11/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M11/00 光学设备的测试；其他类目未包括的用光学方法测试结构部件 G01M11/02 光学性质的测试	IPC分类号	G01M11/02;G01B11/24;G01N21/59查看分类表>
申请人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	申请人地址	四川省绵阳市绵山路*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心	当前权利人	中国工程物理研究院激光聚变研究中心
发明人	李杰;巴荣声;周信达;郑垠波;丁磊;陈宁;徐宏磊
代理机构	上海恒慧知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	张宁展

摘要

一种光学元件激光诱导损伤特征瞬态测量装置及测量方法。该装置包括光源、第一分光镜、第二分光镜、第一反射镜、第二反射镜、光束整形滤波系统、偏振延迟控制系统、样品台、损伤特征在线测量系统、能量控制系统、聚焦系统、光束质量诊断系统、光闸、光阱、计算机；本发明将强激光光束分束，一部分作为损伤测试光束，一部分作为探测光束，采用偏振延迟控制系统，调节探测光束与损伤测试光束的间隔时间，结合损伤特征在线测量系统，在脉冲激光作用后不同时刻探测光学元件被辐照区域的相位信息及光强信息，获得损伤区域三维形貌及透过率分布的相对变化量。

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