加载中...
首页专利查询专利详情

*来源于国家知识产权局数据,仅供参考,实际以国家知识产权局展示为准

一种平面阴极

实用新型专利无效专利
  • 申请号:
    CN201520738884.0
  • IPC分类号:C23C14/35
  • 申请日期:
    2015-09-22
  • 申请人:
    上海晓睿真空科技有限公司
著录项信息
专利名称一种平面阴极
申请号CN201520738884.0申请日期2015-09-22
法律状态放弃专利权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C14/35IPC分类号C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人上海晓睿真空科技有限公司申请人地址
上海市浦东新区新场镇沪南公路7508弄2-24(双)号3层 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人斡兹真空科技(上海)有限公司当前权利人斡兹真空科技(上海)有限公司
发明人郭江涛
代理机构上海脱颖律师事务所代理人李强
摘要
本实用新型公开了一种平面阴极,包括:阴极体基座,磁体及移位机构。所述阴极体基座设置有容腔。所述磁体设置在靶材的一侧以约束电子,形成等离子体,所述磁体可移动地设置于所述容腔内。所述移位机构可移动地设置于所述阴极体基座上,并延伸至所述容腔内驱动所述磁体移动。本实用新型平面阴极通过所述移位机构调整所述磁体相对于靶材距离,并且从而改变靶材表面磁场强度分布,并且该调整无需镀膜设备破空。所述平面阴极调节操作简单、调节精度高,能够实现任何苛刻膜层均匀性的要求,保证了镀膜产品的产品质量,提高了镀膜设备的产能。

我浏览过的专利

专利服务由北京酷爱智慧知识产权代理公司提供