一种扩散炉设备保护隔板

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201920981393.7
IPC分类号：H01L21/67;H01L21/22
申请日期：
2019-06-27
申请人：
通威太阳能（合肥）有限公司

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著录项信息

专利名称	一种扩散炉设备保护隔板
申请号	CN201920981393.7	申请日期	2019-06-27
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L21/67 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L21/00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备〔2，8〕 H01L21/67 专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置〔8〕	IPC分类号	H;0;1;L;2;1;/;6;7;;;H;0;1;L;2;1;/;2;2查看分类表>
申请人	通威太阳能（合肥）有限公司	申请人地址	安徽省合肥市高新区长宁大道888号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	通威太阳能（合肥）有限公司	当前权利人	通威太阳能（合肥）有限公司
发明人	张欢;徐硕;苏世杰;陈绍光;蔡芬
代理机构	昆明合众智信知识产权事务所	代理人	叶春娜

摘要

本实用新型公开了一种扩散炉设备保护隔板，所述碳化硅桨下方设置有隔板，所述隔板固定连接于炉侧壁上，且隔板远离炉侧壁一侧固定连接有侧挡板，所述隔板下方固定连接有支撑杆，所述支撑杆与固定杆固定连接，所述固定杆与炉侧壁固定连接，所述隔板靠近碳化硅桨一侧开设有凹槽，所述凹槽中依次活动设置有上层板和下层板。本实用新型解决了现有扩散炉设备中石英舟倾倒摔舟、上方石英舟中的硅片碎片容易掉落至下方石英舟上，导致下方石英舟中硅片被批量砸碎、浆断裂掉到下方砸碎下方浆及石英舟和硅片，从而影响产线产能和财产损失导致车间成本的问题，有效的避免影响车间产能和财产损失导致的成本上升。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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