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基板的清扫装置和清扫方法

发明专利有效专利

申请号：
CN200580043006.6
IPC分类号：B08B1/02;B08B5/04;G02F1/13;G02F1/1333
申请日期：
2005-09-13
申请人：
芝浦机械电子株式会社

基础信息

权利要求

说明书

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	基板的清扫装置和清扫方法
申请号	CN200580043006.6	申请日期	2005-09-13
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2007-11-28	公开/公告号	CN101080283
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B1/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B1/00 利用工具，刷子或类似工具的清洁方法（B08B 3/12，B08B 6/00，B08B 9/00优先）〔2〕 B08B1/02 运动中工件的清洁，如在传送装置上的成卷织物或物品	IPC分类号	B;0;8;B;1;/;0;2;;;B;0;8;B;5;/;0;4;;;G;0;2;F;1;/;1;3;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3;3查看分类表>
申请人	芝浦机械电子株式会社	申请人地址	日本神奈川县变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	芝浦机械电子株式会社	当前权利人	芝浦机械电子株式会社
发明人	坂田滋
代理机构	永新专利商标代理有限公司	代理人	胡建新

摘要

本发明是清扫基板的至少相对的一对侧边的上下表面的清扫装置，具有：第一清扫单元(100A)，清扫基板的一个侧边的上下表面；第二清扫单元(100B)，与第一清扫单元相对配置，与一个侧边同时清扫与基板的该一个侧边相对的另一个侧边；载置台(104)，在相对的第一清扫单元与第二清扫单元之间，沿着与这些清扫单元的对置方向交叉的方向搬运基板。

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