一种磁控溅射内光电传感器防尘装置

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201520517044.1
IPC分类号：C23C14/35
申请日期：
2015-07-17
申请人：
山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司

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专利名称	一种磁控溅射内光电传感器防尘装置
申请号	CN201520517044.1	申请日期	2015-07-17
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23C14/35 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆（挤压法制造包覆金属的产品入B21C23/22；通过将预先存在的薄层连接到制品上的方法用金属进行镀覆处理的见各有关位置，例如B21D39/00，B23K；玻璃的金属化入C03C；砂浆、混凝土、人造石、陶瓷或天然石的金属化入C04B41/00；金属的搪瓷或向金属上镀覆玻璃体层入c23D；用电解法或电泳法处理金属表面或镀覆金属入C25D；单晶膜生长入C30B；纺织品的金属化入D06M11/83；用局部金属化法装饰纺织品入D06Q1/04）〔4〕 C23C14/00 通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆〔4，2006.01〕 C23C14/22 以镀覆工艺为特征的〔4〕 C23C14/34 溅射〔4〕 C23C14/35 利用磁场的，例如磁控溅射〔5〕	IPC分类号	C;2;3;C;1;4;/;3;5查看分类表>
申请人	山东禹城汉能薄膜太阳能有限公司	申请人地址	北京市朝阳区奥运村街道综合办公区2号楼107室变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	汉能移动能源控股集团有限公司	当前权利人	汉能移动能源控股集团有限公司
发明人	刘林;檀玉珩
代理机构	济南泉城专利商标事务所	代理人	郭禾苗

摘要

本实用新型涉及一种磁控溅射内光电传感器防尘装置。本一种磁控溅射内光电传感器防尘装置，包括伺服电机、光电传感器的激光发射器、反射板和两个葫芦形防尘罩，其中一个葫芦形防尘罩安装于激光发射器的出光口上，另一个葫芦形防尘罩倒置安装于反射板的下方；安装于激光发射器出光口上的葫芦形防尘罩顶部设有灰尘小入口；倒置安装于反射板下方的葫芦形防尘罩底部设有灰尘小入口。本实用新型，设计科学、成本低、使用很方便，通过采用入口小、壁室大、两级过滤吸附的葫芦形防尘罩，对激光发射器及反射板进行防尘，不会造成后续的AZO靶材预溅射损耗，不需要破真空清洁，省时省力，提高防尘效率，有效延长光电传感器的使用时间。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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