靶材组件的制作方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201510593884.0
IPC分类号：B23P15/00;C23C14/34
申请日期：
2015-09-17
申请人：
宁波江丰电子材料股份有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	靶材组件的制作方法
申请号	CN201510593884.0	申请日期	2015-09-17
法律状态	驳回	申报国家	中国
公开/公告日	2017-03-29	公开/公告号	CN106541249A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B23P15/00 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B2 成型 B23 机床；其他类目中不包括的金属加工 B23P 金属的其他加工；组合加工；万能机床（仿形加工或控制装置入B23Q） B23P15/00 制造特定金属物品，采用不包含在另一个单独的小类中或该小类的一个组中的加工	IPC分类号	B;2;3;P;1;5;/;0;0;;;C;2;3;C;1;4;/;3;4查看分类表>
申请人	宁波江丰电子材料股份有限公司	申请人地址	浙江省宁波市余姚市名邦科技工业园区安山路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司	当前权利人	宁波江丰电子材料股份有限公司
发明人	姚力军;潘杰;相原俊夫;大岩一彦;王学泽;李超
代理机构	北京集佳知识产权代理有限公司	代理人	李海建

摘要

本发明公开了一种靶材组件的制作方法，包括步骤：提供背板、外包套、第一盖板和第二盖板；将第一盖板焊接于外包套和背板之间且三者形成容腔；向容腔内装入靶材粉末；将第二盖板焊接于外包套和背板之间且通过第二盖板盖住容腔，形成包套体；对包套体抽真空，待抽真空结束后做闭气处理，形成真空包套体；将真空包套体放入热等静压炉中，待靶材粉末烧结成型并与背板焊接后，冷却真空包套体，冷却后取出真空包套体，去除外包套、第一盖板和第二盖板，获得靶材组件。上述靶材组件的制作方法实现了靶材粉末烧结成型的同时与背板进行扩散焊接，避免了因热膨胀系数不同而引发靶材开裂，降低了靶材组件的报废率；也提高了靶材组件的制作效率。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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