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一种PECVD系统的限位装置

实用新型专利有效专利
  • 申请号:
    CN201921981779.4
  • IPC分类号:C23C16/458;C23C16/50
  • 申请日期:
    2019-11-15
  • 申请人:
    理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司
著录项信息
专利名称一种PECVD系统的限位装置
申请号CN201921981779.4申请日期2019-11-15
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日公开/公告号
优先权暂无优先权号暂无
主分类号C23C16/458IPC分类号C;2;3;C;1;6;/;4;5;8;;;C;2;3;C;1;6;/;5;0查看分类表>
申请人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司申请人地址
江苏省泰州市泰兴高新技术产业开发区环溪路北侧 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司当前权利人理想万里晖真空装备(泰兴)有限公司
发明人陈金元
代理机构苏州国卓知识产权代理有限公司代理人刘静宇
摘要
本实用新型公开了一种PECVD系统的限位装置,包括基座、连接板、驱动机构、卡紧机构和夹紧机构,连接板可固定安装在基座内腔的左右两侧,驱动机构装配在基座的一侧,卡紧机构装配在驱动机构的一侧,夹紧机构螺纹连接在连接板的外壁。该PECVD系统的限位装置,通过向内侧移动的第一夹板可以对其内侧放置的外接电极板进行夹紧固定,进而对其位置进行限位,通过连接座、弹簧、第二夹板和拉杆之间的配合,从而可以对外接太阳能玻璃板进行夹紧固定,进而对其位置进行限位,该装置可以防止太阳能玻璃板和PECVD工件架的电极板摩擦,避免玻璃基板的受光面和膜面被划伤,保证了制造的质量,稳定性好,实用性强,满足现有市场上的使用需求。

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