一种氦质谱检漏仪用组合阀座

实用新型有效专利

申请号：
CN201820473569.3
IPC分类号：G01M3/20
申请日期：
2018-04-03
申请人：
安徽诺益科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种氦质谱检漏仪用组合阀座
申请号	CN201820473569.3	申请日期	2018-04-03
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01M3/20 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01M 机器或结构部件的静或动平衡的测试；其他类目中不包括的结构部件或设备的测试 G01M3/00 结构部件的流体密封性的测试 G01M3/02 应用流体或真空 G01M3/04 通过在漏泄点检测流体的出现 G01M3/20 应用特殊示踪物质，例如染料、荧光材料、放射性材料	IPC分类号	G01M3/20查看分类表>
申请人	安徽诺益科技有限公司	申请人地址	安徽省合肥市庐阳区洪河路18号大海产业园23-*** 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	安徽诺益科技有限公司	当前权利人	安徽诺益科技有限公司
发明人	朱操胜
代理机构	南京申云知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	邱兴天

摘要

本实用新型公开了一种氦质谱检漏仪用组合阀座，所述主阀座与检漏仪的主真空泵相连，所述主阀座上设置有排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座、中真空电磁阀阀座，所述排气电磁阀阀座、低真空电磁阀阀座和中真空电磁阀阀座分别与主真空泵的对应接口相连；所述入口阀座上设置有与氦质谱检漏仪的检漏口相连通的第一进气口、连通前级真空泵的排气口和预抽电磁阀阀座，所述第一进气口位于预抽电磁阀阀座和主阀座之间。本实用新型的组合阀座中的每个阀座尺寸都很小，避免了加工过程中需要打过深的孔，大大降低的加工的难度，提高了良品率，从而降低了装配前的内孔打磨的工作量。