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自动配方稳定性监测及报告

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201580027915.4
  • IPC分类号:H01L21/66
  • 申请日期:
    2015-06-11
  • 申请人:
    科磊股份有限公司
著录项信息
专利名称自动配方稳定性监测及报告
申请号CN201580027915.4申请日期2015-06-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2017-02-15公开/公告号CN106415808A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/66IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;6查看分类表>
申请人科磊股份有限公司申请人地址
美国加利福尼亚州 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人科磊股份有限公司当前权利人科磊股份有限公司
发明人李胡成;高理升;戈文达拉扬·塔达伊孙达拉姆
代理机构北京律盟知识产权代理有限责任公司代理人张世俊
摘要
本发明提供用于监测晶片检验配方随时间的稳定性的系统及方法。一种方法包含收集随时间的检验结果。所述检验结果是在不同时间点在晶片上执行所述晶片检验配方时由至少一个晶片检验工具所产生。所述方法还包含通过将在不同时间产生的所述检验结果彼此比较而识别所述检验结果中的异常变化。另外,所述方法包含确定所述异常变化是否可归因于所述晶片、所述晶片检验配方或所述至少一个晶片检验工具的一或多者,由此确定所述晶片检验配方是否随时间稳定。

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