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微型显示器的制造方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN200510113379.8
  • IPC分类号:H01L21/00;G02F1/133
  • 申请日期:
    2005-10-11
  • 申请人:
    联华电子股份有限公司
著录项信息
专利名称微型显示器的制造方法
申请号CN200510113379.8申请日期2005-10-11
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2007-04-18公开/公告号CN1949455
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/00IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;0;0;;;G;0;2;F;1;/;1;3;3查看分类表>
申请人联华电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹科学工业园区 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人联华电子股份有限公司当前权利人联华电子股份有限公司
发明人吴沂庭;陈世鸿;蔡怀萱;郑志鸿;蔡健华;陈炫旭
代理机构北京市柳沈律师事务所代理人陶凤波;侯宇
摘要
一种微型显示器的制造方法,首先提供一晶片,晶片上已形成有驱动电路。然后,于晶片上形成金属反射层,接着,于金属反射层上依序形成抗反射层与图案化的光致抗蚀剂层,之后,以图案化的光致抗蚀剂层为蚀刻掩模,于抗反射层与金属反射层中形成沟渠图案,以曝露出晶片表面。随后,再移除图案化的光致抗蚀剂层。然后,形成介电层以覆盖抗反射层,且填入沟渠图案中。接着,移除部分介电层与抗反射层,直至曝露出金属反射层表面。

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