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一种聚焦离子束双束系统样品台

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201910456982.8
  • IPC分类号:G01N23/20025
  • 申请日期:
    2019-05-29
  • 申请人:
    南京理工大学
著录项信息
专利名称一种聚焦离子束双束系统样品台
申请号CN201910456982.8申请日期2019-05-29
法律状态实质审查申报国家中国
公开/公告日2019-09-06公开/公告号CN110208299A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G01N23/20025IPC分类号G;0;1;N;2;3;/;2;0;0;2;5查看分类表>
申请人南京理工大学申请人地址
江苏省南京市孝陵卫200号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人南京理工大学当前权利人南京理工大学
发明人胡蓉;陈汉;薛晶;沙刚;靳慎豹
代理机构南京理工大学专利中心代理人张玲
摘要
本发明属于电子背散射衍射技术领域,特别是一种聚焦离子束双束系统样品台。包括:样品台主体:样品台主体上表面设置有凹形样品槽,凹形样品槽底部表面设置有弧形螺纹槽,凹形样品槽一侧的侧壁上设有螺纹通孔,螺纹通孔和弧形螺纹槽的轴线重合;紧固螺钉:穿过样品台主体一侧的螺纹通孔,将样品在紧固螺钉和凹形样品槽的另一侧之间固定,伸出螺纹通孔部分的紧固螺钉通过弧形螺纹槽固定在凹形样品槽的底部;固定杆:设置在样品台主体中部的下端,用于连接双束系统的旋转底座。本申请聚焦离子束/扫描电镜双束系统样品台,通过采用机械固定的方式对样品进行固定,有效的防止薄片样品的移动。

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