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一种深紫外铝光栅偏振器

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201210578546.6
  • IPC分类号:G02B5/30
  • 申请日期:
    2012-12-26
  • 申请人:
    北京理工大学
著录项信息
专利名称一种深紫外铝光栅偏振器
申请号CN201210578546.6申请日期2012-12-26
法律状态权利终止申报国家中国
公开/公告日2013-04-03公开/公告号CN103018815A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号G02B5/30IPC分类号G;0;2;B;5;/;3;0查看分类表>
申请人北京理工大学申请人地址
北京市海淀区中关村南大街5号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人北京理工大学当前权利人北京理工大学
发明人董建杰;康果果
代理机构北京理工大学专利中心代理人高燕燕;郭德忠
摘要
本发明公开了一种深紫外铝光栅偏振器,包括铝光栅和基底介质,铝光栅的周期为50nm-100nm,厚度为50nm-200nm,占空比(光栅栅线宽度/光栅周期)为0.3-0.7;基底介质的材料是SiO2;基底介质紧密的包裹铝光栅。本发明的光栅偏振器可以覆盖波长为150nm-160nm的超深紫外光,体积小、结构紧凑;本发明的光栅偏振器解决了现有偏振器不能工作在157nm波长而无法满足157nm光刻技术需求的问题。

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