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真空灭弧室真空度在线监测装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201410661479.3
  • IPC分类号:H01H33/668
  • 申请日期:
    2014-11-19
  • 申请人:
    大连理工大学
著录项信息
专利名称真空灭弧室真空度在线监测装置
申请号CN201410661479.3申请日期2014-11-19
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2015-03-11公开/公告号CN104409275A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01H33/668IPC分类号H;0;1;H;3;3;/;6;6;8查看分类表>
申请人大连理工大学申请人地址
辽宁省大连市高新园区凌工路2号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人大连理工大学当前权利人大连理工大学
发明人廖敏夫;葛国伟;段雄英;邹积岩;王会珍
代理机构大连非凡专利事务所代理人闪红霞
摘要
本发明公开一种基于耦合电容法、具有温度及电压补偿、准确度高的真空灭弧室真空度在线监测装置,有置于屏蔽盒(1)中的耦合电容传感器,所述屏蔽盒(1)内还设有温度传感器,所述耦合电容传感器依次通过信号调理模块A、移相模块A、差分放大模块与单片机相接,单片机的输出通过自动调零模块反馈至差分放大模块,单片机的输出与显示器相接;设有电压传感器,所述电压传感器依次通过信号调理模块B、移相模块B与差分放大模块相接;所述温度传感器与单片机相接。

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