用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统

发明专利有效专利

申请号：
CN201780067437.9
IPC分类号：G06F17/18;G06Q50/04;G06Q10/06;G05B19/418
申请日期：
2017-08-07
申请人：
SK株式会社

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著录项信息

专利名称	用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统
申请号	CN201780067437.9	申请日期	2017-08-07
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2019-06-14	公开/公告号	CN109891454A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G06F17/18 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G06 计算；推算；计数 G06F 电数字数据处理（基于特定计算模型的计算机系统入G06N） G06F17/00 特别适用于特定功能的数字计算设备或数据处理设备或数据处理方法〔6〕 G06F17/10 复杂数学运算的〔6〕 G06F17/18 用于换算统计数据的〔6〕	IPC分类号	G;0;6;F;1;7;/;1;8;;;G;0;6;Q;5;0;/;0;4;;;G;0;6;Q;1;0;/;0;6;;;G;0;5;B;1;9;/;4;1;8查看分类表>
申请人	SK株式会社	申请人地址	韩国首尔市变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	SK株式会社	当前权利人	SK株式会社
发明人	李炳敏;洪兑荣;孙明昇
代理机构	北京铭硕知识产权代理有限公司	代理人	王凯霞;张川绪

摘要

提供一种用于感测工艺/设备测量数据的细小变化的方法和系统。根据本发明的实施例的数据变化感测方法基于参考数据和比较数据的统计分布提取部分，基于规范计算目标范围，并从提取的参考数据和比较数据之中辨别包括在目标范围中的数据以确定数据变化。因此，工艺或设备的测量数据的微小变化可在制造工艺中被感测，从而能够预先估计产品的潜在的质量可变性并采取用于防止质量劣化的快速预先措施。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
该专利没有引用任何外部专利数据！

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该专利没有被任何外部专利所引用！

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