一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法

发明专利有效专利

申请号：
CN201611006207.5
IPC分类号：G01R27/02;B81C3/00
申请日期：
2016-11-16
申请人：
河海大学

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专利名称	一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法
申请号	CN201611006207.5	申请日期	2016-11-16
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2017-04-19	公开/公告号	CN106569037A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01R27/02 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01R 测量电变量；测量磁变量（指示谐振电路的正确调谐入H03J 3/12） G01R27/00 测量电阻、电抗、阻抗或其派生特性的装置 G01R27/02 电阻、电抗、阻抗或其派生的其他两端特性，例如时间常数的实值或复值测量（仅仅通过测量相位角的入G01R 25/00）	IPC分类号	G;0;1;R;2;7;/;0;2;;;B;8;1;C;3;/;0;0查看分类表>
申请人	河海大学	申请人地址	江苏省南京市江宁开发区佛城西路8号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	河海大学	当前权利人	河海大学
发明人	刘海韵;王娴珏;陈嘉琪;秦少玲
代理机构	南京经纬专利商标代理有限公司	代理人	朱小兵;刘莎

摘要

本发明公开了一种基于MEMS技术的感应式电导率传感器及其制造方法，属于微电子机械系统制造及海洋测量领域。该电导率传感器包括一个导流管、一个电导池、两个环绕在导流管外壁的MEMS螺线管电感，所述导流管呈圆环柱形，其内部供液体流通的圆柱形空腔即为电导池，两个MEMS螺线管电感相互平行并间隔一段距离，两个螺线管分别通过连接引线与外界测试电路相连。本发明采用MEMS加工工艺来制造传感器，具有体积小、功耗低、成本低、可大批量生产的优点；本发明提供的传感器结构简单，操作方便，抗污染能力高，耐腐蚀性强，通用性强，可靠性高，适用于海水等高浓度水体的电导率测量。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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