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多引线通孔的形成方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201010119994.0
  • IPC分类号:H05K3/40;H05K3/42;H05K3/06
  • 申请日期:
    2010-02-04
  • 申请人:
    日月光半导体制造股份有限公司
著录项信息
专利名称多引线通孔的形成方法
申请号CN201010119994.0申请日期2010-02-04
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2011-08-10公开/公告号CN102149255A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H05K3/40IPC分类号H;0;5;K;3;/;4;0;;;H;0;5;K;3;/;4;2;;;H;0;5;K;3;/;0;6查看分类表>
申请人日月光半导体制造股份有限公司申请人地址
中国台湾高雄市楠梓加工出口区经三路26号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人日月光半导体制造股份有限公司当前权利人日月光半导体制造股份有限公司
发明人陈敏尧;庄茂樟;李明锦;王建皓
代理机构上海专利商标事务所有限公司代理人陆勍
摘要
一种多引线通孔的形成方法,包括提供一基材,至少具有一第一表面和一孔洞,孔洞具有孔壁;形成一第一导电层于基材的整个表面和孔壁上;形成一光阻层于第一导电层的整个表面上,且选择性地图案化光阻层,以在第一导电层上定义出多个侧向分离区域;以图案化光阻层为一屏蔽,在该些侧向分离区域上电镀一第二导电层,且第二导电层的厚度实质上大于第一导电层的厚度;移除图案化光阻层;以及实质上地移除未被第二导电层覆盖的部分第一导电层因而形成多条在第一表面上延伸并通过孔洞的侧向分离的引线。

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