温控可充气真空辐射设备

发明专利有效专利

申请号：
CN201110252532.0
IPC分类号：G21K5/00;H01L21/67
申请日期：
2011-08-30
申请人：
中国科学院微电子研究所

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著录项信息

专利名称	温控可充气真空辐射设备
申请号	CN201110252532.0	申请日期	2011-08-30
法律状态	授权	申报国家	中国
公开/公告日	2012-02-01	公开/公告号	CN102339655A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G21K5/00 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G21 核物理；核工程 G21K 未列入其他类目的粒子或电离辐射的处理技术；照射装置；γ射线或X射线显微镜〔2〕 G21K5/00 照射装置（适用于简化照射的反应堆入G21C 23/00；照射用的放电管入H01J 33/00，H01J 37/00）〔2〕	IPC分类号	G;2;1;K;5;/;0;0;;;H;0;1;L;2;1;/;6;7查看分类表>
申请人	中国科学院微电子研究所	申请人地址	北京市朝阳区北土城西路3号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	中国科学院微电子研究所	当前权利人	中国科学院微电子研究所
发明人	曾传滨;毕津顺;刘刚;罗家俊;韩郑生
代理机构	中国专利代理（香港）有限公司	代理人	薛峰

摘要

一种在电子元器件辐射实验中使用的温控可充气真空辐射设备，包括：限定了辐照腔的罩体；携载电子元器件容装在辐照腔内的器件盘；可开闭的封盖结构，其连接于罩体的开口端，以在闭合时气密密封辐照腔；固定于封盖结构的线缆接头；温控系统，其包括辐照腔内的温控板以及穿过封盖结构的冷媒输入和排出管路，温控板的冷媒腔室经冷媒输入和排出管路接收和排出冷媒，其电加热装置电连接到线缆接头；以及抽空充气系统，其包括穿过封盖结构的抽空充气管路和辐照腔外的第一阀门装置，以经该阀门装置和抽空充气管路对辐照腔抽空或充气。本发明的辐射设备可为电子元器件辐射实验准确提供各种温度、气体成分环境，有利满足了电子元器件辐射效应研究的需求。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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