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单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置

实用新型专利无效专利

申请号：
CN201120025086.5
IPC分类号：C23F1/08;C23F1/24
申请日期：
2011-01-25
申请人：
东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司

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法律信息

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著录项信息

专利名称	单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置
申请号	CN201120025086.5	申请日期	2011-01-25
法律状态	权利终止	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C23F1/08 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕 C23F 非机械方法去除表面上的金属材料（电浸蚀法加工金属入B23H；火焰法清除表层金属材料入B23K 7/00；用激光束加工金属入B23K 26/00）；金属材料的缓蚀；一般防积垢（电解或电泳法处理金属表面或金属覆层入C25D，C25F）；至少一种在C23大类中所列的方法及至少一种在C21D、C22F小类或者C25大类中所列的方法之多步法金属材料表面处理〔4〕 C23F1/00 金属材料的化学法蚀刻〔2〕 C23F1/08 装置，如照相印刷制版装置	IPC分类号	C;2;3;F;1;/;0;8;;;C;2;3;F;1;/;2;4查看分类表>
申请人	东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司	申请人地址	江苏省无锡市宜兴市经济开发区文庄路6号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司	当前权利人	东方电气集团（宜兴）迈吉太阳能科技有限公司
发明人	程鹏飞;龚双龙;全余生
代理机构	南京天华专利代理有限责任公司	代理人	夏平

摘要

一种单晶硅太阳能电池片湿法刻蚀装置，它包括刻蚀槽（1）和多个滚轮（3），刻蚀槽（1）内装有刻蚀液（2），多个滚轮（3）均安装在刻蚀槽（1）内，浸没在刻蚀液（2）中。本实用新型使用时，不需要在刻蚀前对电池片正面进行掩膜保护，电池片在腐蚀液中浸入的深度及刻蚀时间可以通过滚轮的转速进行调节，使用该装置生产的单晶硅太阳能电池片的工业化平均转换效率达到18.5%以上。

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