一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202110388799.6
IPC分类号：B08B3/02;B08B3/14;B08B13/00;F26B5/06
申请日期：
2021-04-12
申请人：
常州机电职业技术学院

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法
申请号	CN202110388799.6	申请日期	2021-04-12
法律状态	实质审查	申报国家	中国
公开/公告日	2021-07-30	公开/公告号	CN113182248A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	B08B3/02 ? IPC结构图谱： B 作业；运输 B0 分离；混合 B08 清洁 B08B 一般清洁；一般污垢的防除（刷子入A46；家庭或类似清洁装置入A47L；颗粒从液体或气体中分离入B01D；固体分离入B03，B07；一般对表面喷射或涂敷液体或其他流体材料入B05；用于输送机的清洗装置入B65G 45/10；对瓶子同时进行清洗、灌注和封装的入B67C 7/00；一般腐蚀或积垢的防止入C23；街道、永久性道路、海滨或陆地的清洗入E01H；专门用于游泳池或仿海滨浴场浅水池或池子的部件、零件或辅助设备清洁的入E04H 4/16；防止或清除静电荷入H05F） B08B3/00 使用液体或蒸气的清洁方法（B08B 9/00优先） B08B3/02 用喷射力来清洁	IPC分类号	B;0;8;B;3;/;0;2;;;B;0;8;B;3;/;1;4;;;B;0;8;B;1;3;/;0;0;;;F;2;6;B;5;/;0;6查看分类表>
申请人	常州机电职业技术学院	申请人地址	江苏省常州市武进区鸣新中路26号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	常州机电职业技术学院	当前权利人	常州机电职业技术学院
发明人	张波;虞文武
代理机构	哈尔滨市阳光惠远知识产权代理有限公司	代理人	刘景祥

摘要

本发明公开了一种带有监测系统的芯片清洗机及其清洗方法，涉及到芯片清洗设备领域，包括一种带有监测系统的芯片清洗机，包括清洗组件、干燥组件以及监测组件，有益效果：本发明通过控制翻转电机对料板一端的转轴进行驱动，驱使料板进行180度翻转，从而完成对料板上所固定的芯片进行翻面，方便由料板底部设有的喷液管对芯片进行双面清洗，由干冰喷洗设备通过导气管对干冰喷头供应干冰，使干冰喷头底端的喷嘴对芯片上表面进行喷射干冰，同时由丝杆驱动箱对丝杆进行驱动，驱使干冰喷头进行横向移动，对料板上固定的多个芯片进行喷射干冰，使芯片干燥。

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