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集成动态随机存取存储器与非易失存储器的制作方法

发明专利无效专利
  • 申请号:
    CN201010249729.4
  • IPC分类号:H01L21/8239
  • 申请日期:
    2010-08-05
  • 申请人:
    亿而得微电子股份有限公司
著录项信息
专利名称集成动态随机存取存储器与非易失存储器的制作方法
申请号CN201010249729.4申请日期2010-08-05
法律状态撤回申报国家中国
公开/公告日2012-03-14公开/公告号CN102376648A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/8239
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IPC结构图谱:
IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;8;2;3;9查看分类表>
申请人亿而得微电子股份有限公司申请人地址
中国台湾新竹县 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人亿而得微电子股份有限公司当前权利人亿而得微电子股份有限公司
发明人林信章;戴家豪;叶仰森;杨明苍;范雅婷
代理机构北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司代理人孙皓晨
摘要
本发明揭露一种集成动态随机存取存储器与非易失存储器的制作方法,首先于一动态随机存取存储器的半导体基板的部份表面依序形成一第一栅极绝缘层与作为浮动栅极的一第一栅极层。接着掺杂离子于第一栅极绝缘层的两侧的半导通基板中,以分别形成与第一栅极绝缘层邻接的二重掺杂区,并分别作为汲极与源极,另依序形成一第二栅极绝缘层与作为控制栅极的一第二栅极层于第一栅极层上。本发明能降低制程生产成本、耗电量与包装成本,并同时增加传输速度。

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