一种改善硅锭侧向长晶的护板

实用新型专利有效专利

申请号：
CN201721305089.8
IPC分类号：C30B29/06;C30B28/06
申请日期：
2017-10-10
申请人：
镇江环太硅科技有限公司

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著录项信息

专利名称	一种改善硅锭侧向长晶的护板
申请号	CN201721305089.8	申请日期	2017-10-10
法律状态	暂无	申报国家	中国
公开/公告日		公开/公告号
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C30B29/06 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C2 冶金 C30 晶体生长〔3〕 C30B 单晶生长（用超高压的，例如用于金刚石形成的入B01J 3/06）；共晶材料的定向凝固或共析材料的定向分层；材料的区熔精炼（金属或合金的区熔精炼入C22B）；具有一定结构的均匀多晶材料的制备（金属铸造，按同样工艺或装置的其他物质铸造入B22D；塑料的加工入B29；改变金属或合金的物理结构入C21D、C22F）；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料；单晶或具有一定结构的均匀多晶材料之后处理（用于半导体器件或元件生产的入H01L）；其所用的装置〔3〕 C30B29/00 以材料或形状为特征的单晶或具有一定结构的均匀多晶材料〔3，5〕 C30B29/02 元素〔3〕 C30B29/06 硅〔3〕	IPC分类号	C;3;0;B;2;9;/;0;6;;;C;3;0;B;2;8;/;0;6查看分类表>
申请人	镇江环太硅科技有限公司	申请人地址	江苏省镇江市扬中经济开发区光明路198号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	江苏美科太阳能科技有限公司	当前权利人	江苏美科太阳能科技有限公司
发明人	刘明权;路景刚
代理机构	南京利丰知识产权代理事务所（特殊普通合伙）	代理人	任立

摘要

本实用新型涉及一种改善硅锭侧向长晶的护板，属于多晶硅制备技术领域。该改善硅锭侧向长晶的护板，包括长方形的基础护板和长方形的保温板，保温板设置在基础护板的一侧表面的两端，基础护板下端均匀间隔开设有溢流口，基础护板上还开设有排气孔，基础护板内部设置有护板隔热层；保温板内部均布设置有真空隔热块，真空隔热块包括玻璃层和玻璃层内部的真空层。本实用新型的改善硅锭侧向长晶的护板通过基础护板和保温板的双层隔热，有效降低了拐角散热过快的问题，抑制了拐角区域横向长晶的问题，减少了位错由于拐角斜向长晶所造成的增殖效应，提升了多晶铸锭的硅锭晶体质量。

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