以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法

发明专利无效专利

申请号：
CN200510049283.X
IPC分类号：G01N27/12;G01N27/00
申请日期：
2005-01-31
申请人：
浙江大学

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著录项信息

专利名称	以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法
申请号	CN200510049283.X	申请日期	2005-01-31
法律状态	权利终止	申报国家	暂无
公开/公告日	2005-08-03	公开/公告号	CN1648648
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	G01N27/12 ? IPC结构图谱： G 物理 G0 仪器 G01 测量；测试 G01N （除免疫测定法以外包括酶或微生物的测量或试验入C12M，C12Q） G01N27/00 用电、电化学或磁的方法测试或分析材料（G01N 3/00至G01N 25/00优先；电或磁变量的测量或试验，材料的电磁性能的测试或试验入G01R） G01N27/02 通过测试阻抗 G01N27/04 通过测试电阻 G01N27/12 与流体的吸收有关的固体的电阻，依赖于与流体发生反应的固体的电阻	IPC分类号	G;0;1;N;2;7;/;1;2;;;G;0;1;N;2;7;/;0;0查看分类表>
申请人	浙江大学	申请人地址	浙江省杭州市浙大路38号浙江大学生仪系变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	浙江大学	当前权利人	浙江大学
发明人	陈裕泉;潘敏;张孝彬;郭淼
代理机构	杭州之江专利事务所	代理人	连寿金

摘要

一种以定向碳纳米管层作为气敏层的气敏传感器的制造方法，其特征在于：A)铝质底板表面经阳极氧化处理后形成具有预定大小的纵向微孔的Al2O3层；B)在预定浓度配比的电解液中，采用电化学法将Co纳米粒子沉积在纵向微孔底部；C)采用真空溅射技术在已经镀Co纳米粒子的Al2O3层上制成叉指金电极；D)在650℃～680℃下，采用CVD法在Al2O3层上定向生长碳纳米管层。同现有技术比较，本发明具有如下突出优点：1)在铝表面作阳极氧化处理时可对纵向微孔参数可进行优选；2)气敏层是定向碳纳米管层，可显著优化苯系气体的响应特性；3)采用Co纳米粒子作为催化剂，可以保证定向碳纳米管可控生长；4)本传感器可在常温下工作，有利于实现电导型气敏传感器的微型化、集成化。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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