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一种预对准机的透明晶圆边缘提取方法

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN202010903002.7
  • IPC分类号:H01L21/68;G03F9/00
  • 申请日期:
    2020-09-01
  • 申请人:
    无锡卓海科技有限公司
著录项信息
专利名称一种预对准机的透明晶圆边缘提取方法
申请号CN202010903002.7申请日期2020-09-01
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2020-11-17公开/公告号CN111952230A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号H01L21/68IPC分类号H;0;1;L;2;1;/;6;8;;;G;0;3;F;9;/;0;0查看分类表>
申请人无锡卓海科技有限公司申请人地址
江苏省无锡市天山路6-2407 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人无锡卓海科技有限公司当前权利人无锡卓海科技有限公司
发明人戴金方
代理机构无锡华源专利商标事务所(普通合伙)代理人聂启新
摘要
本发明公开了一种预对准机的透明晶圆边缘提取方法,涉及半导体技术领域,该方法包括:不放置晶圆时采集线阵型CCD传感器的第一受光数据作为光源基准波形;放置待测透明晶圆并控制移动平台移动至晶圆边缘位于线阵型CCD传感器的检测范围内;旋转待测透明晶圆并采集线阵型CCD传感器的第二受光数据,从中提取出边缘数据;将边缘数据和光源基准波形进行差分处理,通过处理获取线阵型CCD传感器的遮光位置;对该遮光位置进行边缘补偿修正得到补偿后传感器的遮光位置;通过数模信号转换后输出给预对准机得到待测透明晶圆的边缘位置。边缘补偿修正提高了晶圆边缘提取的精度,该提取方法使现有的预对准机也能支持透明晶圆的边缘提取。

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