一种晶片烘干系统

发明专利无效专利

申请号：
CN201410053061.4
IPC分类号：F26B15/14;F26B21/12;F26B23/08
申请日期：
2014-02-17
申请人：
上海雄汉实业有限公司

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著录项信息

专利名称	一种晶片烘干系统
申请号	CN201410053061.4	申请日期	2014-02-17
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2015-08-19	公开/公告号	CN104848668A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	F26B15/14 ? IPC结构图谱： F 机械工程；照明；加热；武器；爆破 F2 照明；加热 F26 干燥 F26B 从固体材料或制品中消除液体的干燥（联合收割机的干燥装置入A01D 41/133；干燥果实或疏菜用的框架入A01F 25/12；干燥食品入A23；干燥头发入A45D 20/00；干燥身体的器具入A47K 10/00；干燥家庭物品入A47L；干燥气体或蒸汽入B01D；脱水或类似的从固体分离出液体的化学或物理方法入B01D 43/00；离心设备入B04；干燥陶瓷器入C04B 33/30；与其他处理方式结合的干燥纱线或纤维入D06C；没有加热或正向空气循环的洗衣用干燥框架，家用洗衣干燥机或旋转式脱水机，拧干或热压洗衣入D06F；炉、窑、烘烤炉入F27） F26B15/00 对具有渐进运动的制品进行干燥的机器或设备；对密集批料进行干燥的具有渐进运动的机器或设备（F26B 13/00，F26B 17/00优先；传送装置一般入B65G） F26B15/10 以一条或多条直线形成的路线移动的，例如复合路线 F26B15/12 路线均为水平或略有倾斜的 F26B15/14 用托盘或框架运送制品或批料的	IPC分类号	F;2;6;B;1;5;/;1;4;;;F;2;6;B;2;1;/;1;2;;;F;2;6;B;2;3;/;0;8查看分类表>
申请人	上海雄汉实业有限公司	申请人地址	上海市松江区沪亭北路488号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	上海雄汉实业有限公司	当前权利人	上海雄汉实业有限公司
发明人	朱凯敏
代理机构	暂无	代理人	暂无

摘要

本发明公开了一种晶片烘干系统，包括底座、加热器、烘干室和通过烘干室的传送带，还包括送风机、循环风机、热风腔和控制阀，所述传输带的上段设有用于承载晶片承载器，所述晶片容纳在所述晶片承载器中，所述传输带的上段的两侧朝向所述传输带的中央向上或向下倾斜，所述传送带上设有微波加热层，所述热风腔两端分别与所述送风机的出风口和所述循环风机的出风口连接，所述热风腔与所述烘干室之间设有回风口和多个送风口。本发明采用了自行设计的干燥设备对超声波清洗过的玻璃基片进行干燥，干燥设备采用洁净强冷风吹干的方式对玻璃基片进行风干，避免了干燥过程中在玻璃表面出现水印，设备的制造成本低、运行成本低、操作方便。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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