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一种近化学计量比复合薄膜及其制备方法

发明专利有效专利

申请号：
CN202211125224.6
IPC分类号：H01L41/253;H01L41/312;H01L41/08;C30B31/22;C30B33/02
申请日期：
2022-09-16
申请人：
济南晶正电子科技有限公司

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法律信息

引证文献

著录项信息

专利名称	一种近化学计量比复合薄膜及其制备方法
申请号	CN202211125224.6	申请日期	2022-09-16
法律状态	公开	申报国家	中国
公开/公告日	2022-10-18	公开/公告号	CN115207206A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	H01L41/253 ? IPC结构图谱： H 电学 H9 电学 H01 基本电气元件 H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件（使用半导体器件的测量入G01；一般电阻器入H01C；磁体、电感器、变压器入H01F；一般电容器入H01G；电解型器件入H01G 9/00；电池组、蓄电池入H01M；波导管、谐振器或波导型线路入H01P；线路连接器、汇流器入H01R；受激发射器件入H01S；机电谐振器入H03H；扬声器、送话器、留声机拾音器或类似的声机电传感器入H04R；一般电光源入H05B；印刷电路、混合电路、电设备的外壳或结构零部件、电气元件的组件的制造入H05K；在具有特殊应用的电路中半导体器件的使用见该应用的小类）〔2〕 H01L41/083 和H01L 41/087优先于H01L 41/09至H01L 41/113各组。〔6〕 H01L41/22 专门适用于组装、制造或处理压电或电致伸缩器件或其部件的方法或设备〔2，2013.01〕 H01L41/253 对器件或其部件进行处理以改变压电或电致伸缩特性，例如极化特性、振动特性或模式调整〔2013.01〕	IPC分类号	H;0;1;L;4;1;/;2;5;3;;;H;0;1;L;4;1;/;3;1;2;;;H;0;1;L;4;1;/;0;8;;;C;3;0;B;3;1;/;2;2;;;C;3;0;B;3;3;/;0;2查看分类表>
申请人	济南晶正电子科技有限公司	申请人地址	山东省济南市高新区港兴三路北段1号济南药谷研发平台1号楼B1806 变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	济南晶正电子科技有限公司	当前权利人	济南晶正电子科技有限公司
发明人	胡文;胡卉;李真宇;张秀全;刘亚明
代理机构	北京弘权知识产权代理有限公司	代理人	逯长明;李政楠

摘要

本申请属于半导体材料领域，具体提供一种近化学计量比复合薄膜及其制备方法，所述制备方法在进行离子注入分离后，采用两步退火法对剥离所得单晶复合薄膜进行退火处理，并且，在退火前在压电薄膜的表面设置隔离层，从而一方面降低单晶压电薄膜的锂损失，另一方面抑制在退火过程中，由单晶压电薄膜分解所得氧化锂的外逸，进而使制得的单晶压电薄膜中的压电材料保持近化学计量比。

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