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线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置

发明专利有效专利
  • 申请号:
    CN201110248202.4
  • IPC分类号:B28D7/00;B28D5/04
  • 申请日期:
    2011-08-26
  • 申请人:
    昆山中辰矽晶有限公司
著录项信息
专利名称线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置
申请号CN201110248202.4申请日期2011-08-26
法律状态授权申报国家中国
公开/公告日2013-03-06公开/公告号CN102950660A
优先权暂无优先权号暂无
主分类号B28D7/00IPC分类号B;2;8;D;7;/;0;0;;;B;2;8;D;5;/;0;4查看分类表>
申请人昆山中辰矽晶有限公司申请人地址
江苏省苏州市昆山市开发区高科技工业园汉浦路303号 变更 专利地址、主体等相关变化,请及时变更,防止失效
权利人昆山中辰矽晶有限公司当前权利人昆山中辰矽晶有限公司
发明人陈钰麟;刘建亿
代理机构昆山四方专利事务所代理人盛建德
摘要
本发明公开了一种线切割装置的主轮结构、其制作方法及线切割装置,主要是采用由出线端向入线端进行切割加工成型出若干环形的沟槽的方法,利用该方法所制作的主轮结构,其靠近出线端的环形的沟槽具有对称型态,可以是正V型或U型,可以有效补偿在出线端的因线损而形成小线径的线材,进而提高晶圆切片的良率,并延长主轮结构的使用寿命,进而达到节省成本的目的,本发明所提供的线切割装置是具有本发明主轮结构的线切割装置,具有本发明主轮结构所具有的优点及功效。

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