一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法

发明专利无效专利

申请号：
CN201210067954.5
IPC分类号：C01B33/107
申请日期：
2012-03-15
申请人：
华陆工程科技有限责任公司

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著录项信息

专利名称	一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法
申请号	CN201210067954.5	申请日期	2012-03-15
法律状态	撤回	申报国家	中国
公开/公告日	2012-07-18	公开/公告号	CN102583395A
优先权	暂无	优先权号	暂无
主分类号	C01B33/107 ? IPC结构图谱： C 化学；冶金 C0 化学 C01 无机化学 C01B 非金属元素；其化合物（制备元素或二氧化碳以外无机化合物的发酵或用酶工艺入C12P 3/00；用电解法或电泳法生产非金属元素或无机化合物入C25B） C01B33/00 硅；其化合物（C01B 21/00，C01B 23/00优先；过硅酸盐入 C01B 15/14；碳化物入C01B32/956）〔1，3，2006.01〕 C01B33/08 含卤素的化合物 C01B33/107 卤化硅烷〔3〕	IPC分类号	C;0;1;B;3;3;/;1;0;7查看分类表>
申请人	华陆工程科技有限责任公司	申请人地址	陕西省西安市唐延南路7号变更专利地址、主体等相关变化，请及时变更，防止失效
权利人	华陆工程科技有限责任公司	当前权利人	华陆工程科技有限责任公司
发明人	李汉;王波;张璐璐
代理机构	西安文盛专利代理有限公司	代理人	佘文英

摘要

本发明提供一种精制三氯氢硅的热泵精馏方法，根据气相沉积法制造多晶硅时，将从还原炉中排出的气体冷却后得到的氯硅烷液作为供给液输送至精馏塔的中段，低沸点的三氯氢硅蒸汽从精馏塔顶馏出，经压缩机提温升压后，进入换热器冷却至饱和气体，此气体热源用于加热塔釜再沸器中的混合液，在再沸器换热后的冷凝液一部分回流到精馏塔顶部，剩余部分作为下游工段多晶硅的制造原料，四氯化硅则作为釜液从精馏塔底部排出，完成一个精馏塔自循环开式热泵循环，热泵循环工质和再沸器加热介质均为塔顶物料。本发明优化了热泵精馏工艺，充分利用塔体本身的热循环，降低了能耗，减少了系统的安全隐患。

序号	公开(公告)号	公开(公告)日	申请日	专利名称	申请人
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